Tab Kontni
1. Apèsi sou sijè a ak fonksyon prensipal FOUP yo
2. Estrikti ak Karakteristik Konsepsyon FOUP la
3. Klasifikasyon ak Gid Aplikasyon FOUP
4. Operasyon ak enpòtans FOUP nan fabrikasyon semi-kondiktè
5. Defi teknik ak tandans devlopman nan lavni
6. Solisyon ak Sipò Sèvis Customized XKH yo
Nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè yo, Front Opening Unified Pod (FOUP) la se yon veso enpòtan ki itilize pou pwoteje, transpòte, ak estoke waf yo. Anndan li ka akomode 25 moso waf 300mm, epi konpozan prensipal li yo gen ladan yon veso ki ouvè devan ak yon ankadreman pòt dedye pou ouvèti ak fèmen. FOUP la se yon transpòtè nwayo nan sistèm transpò otomatik ki nan faktori waf 12 pous yo. Li tipikman transpòte nan yon eta fèmen epi li ouvè sèlman lè yo pouse l nan pò chajman ekipman an, sa ki pèmèt waf yo transfere nan pò chajman/dechajman ekipman an.
Desen FOUP la adapte ak egzijans mikwo-anviwònman an. Li gen fant nan dèyè a pou mete wafer, epi kouvèti a fèt espesyalman pou l matche ak kranpon ouvè-wafer la. Robo ki manyen wafer yo opere nan yon anviwònman lè pwòp Klas 1, sa ki asire ke wafer yo pa kontamine pandan transmisyon an. Anplis de sa, FOUP la deplase ant zouti pwosesis yo atravè yon sistèm manyen materyèl otomatik (AMHS). Faktori wafer modèn yo sitou itilize sistèm ray tren anlè pou transpò, alòske kèk faktori ki pi ansyen ka itilize machin gide otomatik ki baze sou tè (AGV).
FOUP a pa sèlman pèmèt transfè wafer otomatik, men li sèvi tou yon fonksyon depo. Akòz anpil etap fabrikasyon yo, wafer yo ka pran plizyè mwa pou konplete tout pwosesis la. Ansanm ak gwo volim pwodiksyon chak mwa, sa vle di ke plizyè dizèn milye wafer nan yon faktori toujou an transpò oswa depo tanporè nan nenpòt ki lè. Pandan depo, FOUP yo detanzantan pirifye ak azòt pou anpeche kontaminan yo antre an kontak ak wafer yo, sa ki asire yon pwosesis pwodiksyon pwòp e serye.
1. Fonksyon ak Enpòtans FOUP
Fonksyon prensipal FOUP a se pwoteje waf yo kont chòk ak kontaminasyon ekstèn, sitou pou evite enpak sou rannman pandan transfè a. Li anpeche imidite efektivman atravè metòd tankou pirifikasyon gaz ak Kontwòl Atmosfè Lokal (LAC), pou asire waf yo rete nan yon eta ki an sekirite pandan y ap tann pwochen etap fabrikasyon an. Sistèm sele ak kontwole li a pèmèt sèlman konpoze ak eleman nesesè yo antre, sa ki diminye anpil efè negatif VOC, oksijèn ak imidite sou waf yo.
Piske yon FOUP ki chaje nèt ak 25 wafer ka peze jiska 9 kilogram, transpò li dwe depann sou yon Sistèm Otomatik pou Manyen Materyèl (AMHS). Pou fasilite sa, FOUP la fèt ak divès konbinezon plak koneksyon, broch ak twou, epi li ekipe ak etikèt elektwonik RFID pou idantifikasyon ak klasifikasyon fasil. Manyen otomatik sa a prèske pa mande okenn operasyon manyèl, sa ki diminye anpil pousantaj erè epi amelyore sekirite ak presizyon pwosesis fabrikasyon an.
2. Estrikti ak Klasifikasyon FOUP
Dimansyon tipik yon FOUP se apeprè 420 mm nan lajè, 335 mm nan pwofondè, ak 335 mm nan wotè. Konpozan estriktirèl prensipal li yo enkli: yon OHT (tèt djondjon) anlè pou transpòte aparèy leve anlè; yon pòt devan pou aksè nan waf ekipman an; manch bò kote yo, souvan ak kòd koulè pou distenge zòn pwosesis yo ak diferan nivo kontaminasyon; yon zòn kat pou mete kat mesaj; ak yon etikèt RFID anba ki sèvi kòm idantifikatè inik pou FOUP la, sa ki pèmèt zouti yo ak aparèy leve anlè yo rekonèt li. Baz la ekipe tou ak kat twou idantifikasyon ak pozisyonman pou matche ak zouti yo epi distenge zòn pwosesis yo.
Baze sou itilizasyon, yo klase FOUP yo an twa kalite: PRD (pou pwodiksyon), ENG (pou waf jeni), ak MON (pou waf monitè). Yo ka itilize FOUP PRD yo pou fabrikasyon pwodwi, kalite ENG yo apwopriye pou R&D oswa eksperyans, epi kalite MON yo dedye a siveyans pwosesis pou etap tankou CMP ak DIFF. Li enpòtan pou note ke yo ka itilize FOUP PRD yo pou tou de rezon ENG ak MON, epi yo ka itilize kalite ENG yo pou MON, men operasyon envès la poze risk kalite.
Klase pa nivo kontaminasyon, FOUP yo ka divize an FE FOUP (pwosesis front-end, san metal), BE FOUP (pwosesis back-end, gen metal), ak sa yo ki espesyalize pou pwosesis metal espesifik tankou NI FOUP, CU FOUP, ak CO FOUP. FOUP pou diferan pwosesis yo tipikman distenge pa koulè manch bò yo oswa panno pòt yo. FOUP ki soti nan pwosesis front-end yo ka itilize nan pwosesis back-end, men pa janm dwe itilize FOUP back-end nan pwosesis front-end, paske sa ta lakòz risk kontaminasyon.
Kòm yon konpayi kle nan fabrikasyon semi-kondiktè, FOUP a, atravè yon gwo automatisation ak yon kontwòl kontaminasyon strik, asire sekirite ak pwòpte wafer yo pandan pwosesis pwodiksyon an, sa ki fè li yon enfrastrikti endispansab nan faktori wafer modèn yo.
Konklizyon
XKH angaje pou l bay kliyan solisyon Front-Opening Unified Pod (FOUP) trè pèsonalize, pou respekte estrikteman egzijans pwosesis espesifik ou yo ak espesifikasyon koòdone ekipman yo. Lè nou itilize teknoloji materyèl avanse ak pwosesis fabrikasyon presizyon, nou asire ke chak pwodwi FOUP bay yon etancheite, pwòpte ak estabilite mekanik eksepsyonèl. Ekip teknik nou an gen yon ekspètiz pwofon nan endistri a, epi li ofri yon sipò konplè pandan tout sik lavi a—soti nan konsiltasyon seleksyon ak optimize estriktirèl rive nan netwayaj ak antretyen—pou asire yon entegrasyon san pwoblèm ak yon kolaborasyon efikas ant FOUP la ak Sistèm Otomatik Manyen Materyèl (AMHS) ou a ansanm ak ekipman pwosesis yo. Nou toujou bay priyorite a sekirite wafer yo ak amelyorasyon rannman pwodiksyon an kòm objektif prensipal nou yo. Atravè pwodwi inovatè ak sèvis teknik konplè, nou bay yon garanti solid pou pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè ou yo, sa ki finalman ogmante efikasite pwodiksyon ak rannman pwodwi.
Dat piblikasyon: 8 septanm 2025