Konpreyansyon pwofon nan Sistèm SPC nan Faktori Wafer

1. Apèsi sou sistèm SPC a

SPC se yon metòd ki itilize teknik estatistik pou kontwole ak kontwole pwosesis fabrikasyon yo. Fonksyon debaz li se detekte anomali nan pwosesis pwodiksyon an nan kolekte ak analize done an tan reyèl, ede enjenyè fè ajisteman alè ak desizyon. Objektif SPC se diminye varyasyon nan pwosesis pwodiksyon an, asire bon jan kalite pwodwi rete estab epi satisfè espesifikasyon yo.

SPC yo itilize nan pwosesis la grave pou:

Siveye paramèt ekipman enpòtan yo (egzanp, pousantaj etch, pouvwa RF, presyon chanm, tanperati, elatriye)

Analize endikatè bon jan kalite pwodwi kle (egzanp, lajè liy, pwofondè etch, brutality kwen, elatriye)

Lè yo kontwole paramèt sa yo, enjenyè yo ka detekte tandans ki endike degradasyon pèfòmans ekipman oswa devyasyon nan pwosesis pwodiksyon an, kidonk diminye pousantaj bouyon yo.

2. Konpozan debaz nan sistèm SPC a

Sistèm SPC a konpoze de plizyè modil kle:

Modil Koleksyon Done: Kolekte done an tan reyèl nan ekipman ak pwosesis koule (pa egzanp, atravè FDC, sistèm EES) epi anrejistre paramèt enpòtan ak rezilta pwodiksyon an.

Modil Tablo Kontwòl: Itilize tablo kontwòl estatistik (egzanp, tablo X-Bar, tablo R, tablo Cp/Cpk) pou wè estabilite pwosesis la epi ede detèmine si pwosesis la an kontwòl.

Sistèm Alam: Deklanche alam lè paramèt kritik depase limit kontwòl oswa montre chanjman tandans, sa ki pouse enjenyè yo pran aksyon.

Analiz ak Rapò Modil: Analize kòz rasin anomali yo ki baze sou tablo SPC ak regilyèman jenere rapò pèfòmans pou pwosesis la ak ekipman yo.

3. Eksplikasyon detaye sou tablo kontwòl nan SPC

Tablo kontwòl yo se youn nan zouti ki pi souvan itilize nan SPC, ki ede fè distenksyon ant "varyasyon nòmal" (ki te koze pa varyasyon pwosesis natirèl) ak "varyasyon nòmal" (ki te koze pa echèk ekipman oswa devyasyon pwosesis). Tablo kontwòl komen yo enkli:

Tablo X-Bar ak R: Yo itilize pou kontwole mwayèn ak ranje nan pakèt pwodiksyon pou obsève si pwosesis la estab.

Endis Cp ak Cpk: Yo itilize pou mezire kapasite pwosesis, sa vle di, si pwodiksyon pwosesis la ka toujou satisfè kondisyon spesifikasyon. Cp mezire kapasite potansyèl la, pandan y ap Cpk konsidere devyasyon sant pwosesis la nan limit spesifikasyon yo.

Pou egzanp, nan pwosesis la grave, ou ta ka kontwole paramèt tankou pousantaj etch ak brutality sifas yo. Si pousantaj etch nan yon sèten moso ekipman depase limit kontwòl la, ou ka itilize tablo kontwòl pou detèmine si sa a se yon varyasyon natirèl oswa yon endikasyon de fonksyone byen ekipman.

4. Aplikasyon SPC nan ekipman grave

Nan pwosesis la grave, kontwole paramèt ekipman yo se kritik, ak SPC ede amelyore estabilite pwosesis nan fason sa yo:

Siveyans Kondisyon Ekipman: Sistèm tankou FDC kolekte done an tan reyèl sou paramèt kle nan ekipman grave (egzanp, pouvwa RF, koule gaz) epi konbine done sa yo ak tablo kontwòl SPC yo detekte pwoblèm ekipman potansyèl yo. Pou egzanp, si ou wè ke pouvwa RF a sou yon tablo kontwòl piti piti devye de valè a mete, ou ka pran aksyon bonè pou ajisteman oswa antretyen pou fè pou evite enpak sou bon jan kalite pwodwi.

Siveyans Kalite Pwodwi: Ou kapab tou antre paramèt bon jan kalite pwodwi kle (egzanp, pwofondè etch, lajè liy) nan sistèm SPC a pou kontwole estabilite yo. Si kèk endikatè pwodwi kritik piti piti devye de valè sib yo, sistèm SPC a pral bay yon alam, ki endike ke ajisteman pwosesis yo nesesè.

Antretyen Prevantif (PM): SPC ka ede optimize sik antretyen prevantif pou ekipman yo. Lè w analize done alontèm sou pèfòmans ekipman ak rezilta pwosesis, ou ka detèmine tan ki pi bon pou antretyen ekipman yo. Pou egzanp, lè w kontwole pouvwa RF ak lavi ESC, ou ka detèmine ki lè netwayaj oswa ranplasman eleman nesesè, diminye to echèk ekipman yo ak tan pwodiksyon an.

5. Chak jou l' konsèy pou sistèm SPC a

Lè w ap itilize sistèm SPC a nan operasyon chak jou, etap sa yo ka swiv:

Defini paramèt kontwòl kle (KPI): Idantifye paramèt ki pi enpòtan nan pwosesis pwodiksyon an epi mete yo nan siveyans SPC. Paramèt sa yo ta dwe gen rapò ak bon jan kalite pwodwi ak pèfòmans ekipman yo.

Mete limit kontwòl ak limit alam: Baze sou done istorik ak kondisyon pwosesis, mete limit kontwòl rezonab ak limit alam pou chak paramèt. Limit kontwòl yo anjeneral mete nan ± 3σ (devyasyon estanda), pandan y ap limit alam yo baze sou kondisyon espesifik nan pwosesis la ak ekipman.

Siveyans ak analiz kontinyèl: Revize tablo kontwòl SPC regilyèman pou analize tandans ak varyasyon done yo. Si kèk paramèt depase limit kontwòl, aksyon imedya nesesè, tankou ajiste paramèt ekipman oswa fè antretyen ekipman.

Manyen anòmal ak analiz kòz rasin: Lè yon anòmal rive, sistèm SPC a anrejistre enfòmasyon detaye sou ensidan an. Ou bezwen rezoud pwoblèm ak analize kòz rasin anòmal la ki baze sou enfòmasyon sa a. Li souvan posib pou konbine done ki soti nan sistèm FDC, sistèm EES, elatriye, pou analize si pwoblèm nan se akòz echèk ekipman, devyasyon pwosesis, oswa faktè anviwònman ekstèn.

Amelyorasyon kontinyèl: Sèvi ak done istorik anrejistre nan sistèm SPC a, idantifye pwen fèb nan pwosesis la epi pwopoze plan amelyorasyon. Pou egzanp, nan pwosesis la grave, analize enpak la nan lavi ESC ak metòd netwayaj sou sik antretyen ekipman ak kontinyèlman optimize paramèt opere ekipman yo.

6. Ka aplikasyon pratik

Kòm yon egzanp pratik, sipoze ou responsab pou ekipman grave E-MAX la, ak katod chanm lan ap fè eksperyans mete twò bonè, ki mennen nan yon ogmantasyon nan valè D0 (defo BARC). Lè w kontwole pouvwa RF a ak pousantaj etch atravè sistèm SPC a, ou remake yon tandans kote paramèt sa yo piti piti devye de valè yo mete. Apre yon alam SPC deklanche, ou konbine done ki soti nan sistèm FDC a epi detèmine ke pwoblèm nan se koze pa kontwòl tanperati enstab andedan chanm lan. Lè sa a, ou aplike nouvo metòd netwayaj ak estrateji antretyen, evantyèlman diminye valè D0 a soti nan 4.3 a 2.4, kidonk amelyore kalite pwodwi.

7.Nan XINKEHUI ou ka jwenn.

Nan XINKEHUI, ou ka reyalize wafer pafè a, si li se yon wafer Silisyòm oswa yon wafer SiC. Nou espesyalize nan livrezon pi bon kalite wafers pou divès endistri, konsantre sou presizyon ak pèfòmans.