Konpreyansyon pwofon sou sistèm SPC nan fabrikasyon wafer

1. Apèsi sou Sistèm SPC a

SPC se yon metòd ki itilize teknik estatistik pou siveye ak kontwole pwosesis fabrikasyon yo. Fonksyon prensipal li se detekte anomali nan pwosesis pwodiksyon an lè li kolekte epi analize done an tan reyèl, pou ede enjenyè yo pran ajisteman ak desizyon alè. Objektif SPC a se diminye varyasyon nan pwosesis pwodiksyon an, pou asire ke kalite pwodwi a rete estab epi li satisfè espesifikasyon yo.

Yo itilize SPC nan pwosesis grave a pou:

Siveye paramèt ekipman kritik yo (pa egzanp, vitès grave, puisans RF, presyon chanm, tanperati, elatriye)

Analize endikatè kle kalite pwodwi yo (pa egzanp, lajè liy, pwofondè grave, aspè britalite kwen, elatriye)

Lè yo siveye paramèt sa yo, enjenyè yo ka detekte tandans ki endike degradasyon pèfòmans ekipman oswa devyasyon nan pwosesis pwodiksyon an, kidonk diminye pousantaj dechè yo.

2. Konpozan debaz sistèm SPC a

Sistèm SPC a konpoze de plizyè modil kle:

Modil Koleksyon Done: Kolekte done an tan reyèl nan ekipman ak koule pwosesis yo (pa egzanp, atravè sistèm FDC, EES) epi anrejistre paramèt enpòtan yo ak rezilta pwodiksyon yo.

Modil Tablo Kontwòl: Itilize tablo kontwòl estatistik (pa egzanp, tablo X-Bar, tablo R, tablo Cp/Cpk) pou vizyalize estabilite pwosesis la epi ede detèmine si pwosesis la anba kontwòl.

Sistèm Alam: Deklanche alam lè paramèt kritik yo depase limit kontwòl yo oswa montre chanjman tandans, sa ki pouse enjenyè yo pran aksyon.

Modil Analiz ak Rapò: Analize kòz fondamantal anomali yo ki baze sou tablo SPC yo epi li jenere rapò pèfòmans regilyèman pou pwosesis la ak ekipman an.

3. Eksplikasyon detaye sou tablo kontwòl yo nan SPC

Tablo kontwòl yo se youn nan zouti ki pi souvan itilize nan SPC, ede distenge ant "varyasyon nòmal" (ki koze pa varyasyon pwosesis natirèl) ak "varyasyon anòmal" (ki koze pa echèk ekipman oswa devyasyon pwosesis). Tablo kontwòl komen yo enkli:

Graf X-Bar ak R: Yo itilize yo pou kontwole mwayèn ak entèval nan pakèt pwodiksyon yo pou obsève si pwosesis la estab.

Endis Cp ak Cpk: Yo itilize yo pou mezire kapasite pwosesis la, sa vle di, si rezilta pwosesis la ka toujou satisfè egzijans spesifikasyon yo. Cp mezire kapasite potansyèl la, alòske Cpk konsidere devyasyon sant pwosesis la soti nan limit spesifikasyon yo.

Pa egzanp, nan pwosesis grave a, ou ka kontwole paramèt tankou vitès grave ak aspè sifas la. Si vitès grave yon sèten ekipman depase limit kontwòl la, ou ka itilize tablo kontwòl pou detèmine si sa a se yon varyasyon natirèl oswa yon endikasyon de fonksyònman ekipman an ki pa bon.

4. Aplikasyon SPC nan Ekipman Gravure

Nan pwosesis grave a, li enpòtan pou kontwole paramèt ekipman yo, epi SPC ede amelyore estabilite pwosesis la nan fason sa yo:

Siveyans Kondisyon Ekipman: Sistèm tankou FDC kolekte done an tan reyèl sou paramèt kle ekipman grave yo (pa egzanp, puisans RF, koule gaz) epi konbine done sa yo ak tablo kontwòl SPC pou detekte pwoblèm potansyèl ekipman yo. Pa egzanp, si ou wè ke puisans RF sou yon tablo kontwòl ap piti piti devye de valè ki fikse a, ou ka pran aksyon bonè pou ajisteman oswa antretyen pou evite afekte kalite pwodwi a.

Siveyans Kalite Pwodwi: Ou kapab tou antre paramèt kle nan kalite pwodwi (pa egzanp, pwofondè grave, lajè liy) nan sistèm SPC a pou kontwole estabilite yo. Si kèk endikatè pwodwi kritik piti piti devye de valè sib yo, sistèm SPC a pral bay yon alam, ki endike ke ajisteman pwosesis yo nesesè.

Antretyen Prevantif (PM): SPC ka ede optimize sik antretyen prevantif pou ekipman yo. Lè w analize done alontèm sou pèfòmans ekipman ak rezilta pwosesis yo, ou ka detèmine moman optimal pou antretyen ekipman an. Pa egzanp, lè w siveye puisans RF ak dire lavi ESC a, ou ka detèmine kilè netwayaj oswa ranplasman konpozan nesesè, sa ki diminye to echèk ekipman yo ak tan pwodiksyon an pa fonksyone.

5. Konsèy pou Itilizasyon Sistèm SPC a chak jou

Lè w ap itilize sistèm SPC a nan operasyon chak jou, ou ka swiv etap sa yo:

Defini Paramèt Kontwòl Kle yo (KPI): Idantifye paramèt ki pi enpòtan nan pwosesis pwodiksyon an epi mete yo nan siveyans SPC a. Paramèt sa yo ta dwe gen yon relasyon sere avèk kalite pwodwi a ak pèfòmans ekipman an.

Fikse Limit Kontwòl ak Limit Alam: Baze sou done istorik ak egzijans pwosesis la, fikse limit kontwòl ak limit alam rezonab pou chak paramèt. Limit kontwòl yo anjeneral fikse a ±3σ (devyasyon estanda), alòske limit alam yo baze sou kondisyon espesifik pwosesis la ak ekipman an.

Siveyans ak analiz kontinyèl: Revize tablo kontwòl SPC yo regilyèman pou analize tandans ak varyasyon done yo. Si gen kèk paramèt ki depase limit kontwòl yo, ou bezwen pran aksyon imedya, tankou ajiste paramèt ekipman yo oswa fè antretyen ekipman yo.

Jesyon Anomali ak Analiz Kòz Fondamantal: Lè yon anomali rive, sistèm SPC a anrejistre enfòmasyon detaye sou ensidan an. Ou bezwen depanaj epi analize kòz fondamantal la ki baze sou enfòmasyon sa a. Souvan li posib pou konbine done ki soti nan sistèm FDC, sistèm EES, elatriye, pou analize si pwoblèm nan soti nan yon echèk ekipman, yon devyasyon pwosesis, oswa faktè anviwònman ekstèn.

Amelyorasyon Kontinyèl: Sèvi ak done istorik ki anrejistre pa sistèm SPC a, idantifye pwen fèb nan pwosesis la epi pwopoze plan amelyorasyon. Pa egzanp, nan pwosesis grave a, analize enpak dire lavi ESC ak metòd netwayaj yo sou sik antretyen ekipman yo epi optimize paramèt fonksyònman ekipman yo kontinyèlman.

6. Ka Aplikasyon Pratik

Kòm yon egzanp pratik, ann sipoze ou responsab ekipman grave E-MAX la, epi katod chanm lan ap fè eksperyans yon usure twò bonè, sa ki lakòz yon ogmantasyon nan valè D0 (defo BARC). Lè w siveye puisans RF la ak vitès grave a atravè sistèm SPC a, ou remake yon tandans kote paramèt sa yo piti piti devye de valè fiks yo. Apre yon alam SPC deklanche, ou konbine done ki soti nan sistèm FDC a epi ou detèmine ke pwoblèm nan koze pa yon kontwòl tanperati enstab andedan chanm lan. Lè sa a, ou aplike nouvo metòd netwayaj ak estrateji antretyen, evantyèlman diminye valè D0 a soti nan 4.3 a 2.4, kidonk amelyore kalite pwodwi a.

7. Nan XINKEHUI ou ka jwenn.

Nan XINKEHUI, ou ka reyalize waf pafè a, kit se yon waf Silisyòm oswa yon waf SiC. Nou espesyalize nan delivre waf meyè kalite pou divès endistri, konsantre sou presizyon ak pèfòmans.