Avyon kristal ak oryantasyon kristal yo se de konsèp debaz nan kristalografi, byen ki gen rapò ak estrikti nan kristal nan teknoloji sikwi entegre ki baze sou Silisyòm.
1.Definisyon ak Pwopriyete Crystal Oryantasyon
Oryantasyon kristal reprezante yon direksyon espesifik nan yon kristal, tipikman eksprime pa endis oryantasyon kristal. Oryantasyon kristal defini nan konekte nenpòt de pwen lasi nan estrikti kristal la, epi li gen karakteristik sa yo: chak oryantasyon kristal gen yon kantite enfini pwen lasi; yon sèl oryantasyon kristal ka konpoze de plizyè oryantasyon kristal paralèl ki fòme yon fanmi oryantasyon kristal; fanmi oryantasyon kristal la kouvri tout pwen lasi nan kristal la.
Siyifikasyon nan oryantasyon kristal se nan endike aranjman direksyon atòm nan kristal la. Pa egzanp, oryantasyon kristal [111] reprezante yon direksyon espesifik kote rapò pwojeksyon twa aks kowòdone yo se 1:1:1.
2. Definisyon ak Pwopriyete Crystal Avyon
Yon avyon kristal se yon plan nan aranjman atòm nan yon kristal, reprezante pa endis avyon kristal (endis Miller). Pou egzanp, (111) endike ke resipwòk yo nan entèsepte yo nan avyon an kristal sou aks yo kowòdone yo nan rapò a 1:1:1. Plan kristal la gen pwopriyete sa yo: chak plan kristal gen yon kantite enfini pwen lasi; chak plan kristal gen yon kantite enfini plan paralèl ki fòme yon fanmi plan kristal; fanmi avyon kristal kouvri tout kristal la.
Detèminasyon an nan endis Miller enplike nan pran entèsept yo nan avyon an kristal sou chak aks kowòdone, jwenn resipwòk yo, ak konvèti yo nan pi piti rapò nonb antye relatif la. Pa egzanp, plan kristal (111) gen entèsepte sou aks x, y, ak z nan rapò 1:1:1.
3. Relasyon ki genyen ant Crystal Avyon ak Crystal Oryantasyon
Avyon kristal ak oryantasyon kristal se de fason diferan pou dekri estrikti jeyometrik yon kristal. Oryantasyon kristal refere a aranjman atòm nan yon direksyon espesifik, pandan y ap yon avyon kristal refere a aranjman atòm sou yon plan espesifik. De sa yo gen yon korespondans sèten, men yo reprezante diferan konsèp fizik.
Relasyon kle: Vektè nòmal yon plan kristal (sa vle di, vektè pèpandikilè ak plan sa a) koresponn ak yon oryantasyon kristal. Pa egzanp, vektè nòmal plan kristal (111) la koresponn ak oryantasyon kristal [111], sa vle di aranjman atomik nan direksyon [111] pèpandikilè ak plan sa a.
Nan pwosesis semi-conducteurs, seleksyon an nan avyon kristal anpil afekte pèfòmans aparèy. Pou egzanp, nan semi-conducteurs ki baze sou Silisyòm, avyon kristal souvan itilize yo se avyon yo (100) ak (111) paske yo gen diferan aranjman atomik ak metòd lyezon nan diferan direksyon. Pwopriyete tankou mobilite elèktron ak enèji sifas varye sou diferan avyon kristal, enfliyanse pèfòmans ak pwosesis kwasans nan aparèy semi-conducteurs.
4. Aplikasyon pratik nan Pwosesis Semiconductor
Nan manifakti semiconductor ki baze sou Silisyòm, oryantasyon kristal ak avyon kristal yo aplike nan plizyè aspè:
Kwasans kristal: kristal semi-kondiktè yo anjeneral grandi nan oryantasyon kristal espesifik. Silisyòm kristal yo pi souvan grandi nan oryantasyon [100] oswa [111] paske estabilite ak aranjman atomik nan oryantasyon sa yo favorab pou kwasans kristal.
Pwosesis grave: Nan grave mouye, diferan avyon kristal gen diferan pousantaj grave. Pou egzanp, pousantaj yo grave sou (100) ak (111) avyon yo nan Silisyòm diferan, sa ki lakòz efè grave anisotropik.
Karakteristik aparèy: Mobilite elèktron nan aparèy MOSFET afekte pa avyon kristal la. Tipikman, mobilite a pi wo sou plan an (100), se poutèt sa modèn MOSFET ki baze sou Silisyòm itilize sitou (100) wafers.
An rezime, avyon kristal ak oryantasyon kristal yo se de fason fondamantal pou dekri estrikti kristal nan kristalografi. Oryantasyon kristal reprezante pwopriyete direksyon ki nan yon kristal, pandan y ap avyon kristal dekri avyon espesifik nan kristal la. De konsèp sa yo gen rapò sere nan fabrikasyon semi-conducteurs. Seleksyon an nan avyon kristal dirèkteman enpak sou pwopriyete fizik ak chimik materyèl la, pandan y ap oryantasyon kristal enfliyanse kwasans kristal ak teknik pwosesis. Konprann relasyon ki genyen ant avyon kristal ak oryantasyon yo enpòtan anpil pou optimize pwosesis semi-conducteurs ak amelyore pèfòmans aparèy.
Lè poste: Oct-08-2024