Avèk devlopman kontinyèl teknoloji semi-kondiktè a, nan endistri semi-kondiktè a e menm nan endistri fotovoltaik la, egzijans pou kalite sifas substrat wafer la oswa fèy epitaksyèl la tou trè strik. Alò, ki egzijans kalite pou wafer yo? Pran...waf safiPa egzanp, ki endikatè nou ka itilize pou evalye kalite sifas waflè yo?
Ki endikatè evalyasyon wafer yo ye?
Twa endikatè yo
Pou waf safi yo, endikatè evalyasyon li yo se devyasyon epesè total (TTV), koube (Bow) ak Warp (Warp). Twa paramèt sa yo ansanm reflete planite ak inifòmite epesè waf Silisyòm lan, epi yo ka mezire degre ondilasyon waf la. Ondilasyon an ka konbine avèk planite a pou evalye kalite sifas waf la.
Kisa TTV, BOW, oswa Warp ye?
TTV (Varyasyon Epesè Total)
TTV a se diferans ki genyen ant epesè maksimòm ak minimòm yon waf. Paramèt sa a se yon endèks enpòtan yo itilize pou mezire inifòmite epesè waf la. Nan yon pwosesis semi-kondiktè, epesè waf la dwe trè inifòm sou tout sifas la. Mezi yo anjeneral fèt nan senk kote sou waf la epi yo kalkile diferans lan. Finalman, valè sa a se yon baz enpòtan pou jije kalite waf la.
Banza
Nan fabrikasyon semi-kondiktè, mo "bow" la refere a koube yon waf, ki libere distans ki genyen ant mitan yon waf ki pa bloke ak plan referans lan. Mo a pwobableman soti nan yon deskripsyon fòm yon objè lè li koube, tankou fòm koube yon bow. Valè "bow" la defini lè yo mezire devyasyon ki genyen ant sant ak kwen waf silikon an. Valè sa a anjeneral eksprime an mikwomèt (µm).
Deformation
Deformation se yon pwopriyete global waf yo ki mezire diferans ki genyen ant distans maksimòm ak minimòm ki genyen ant mitan yon waf ki lib debloke ak plan referans lan. Li reprezante distans ki genyen ant sifas waf silikon an ak plan an.
Ki diferans ki genyen ant TTV, Bow, ak Warp?
TTV konsantre sou chanjman nan epesè epi li pa konsène ak koube oswa defòmasyon waf la.
Bow konsantre sou koube jeneral la, sitou konsidere koube pwen sant lan ak kwen an.
Deformation an pi konplè, ki gen ladan l pliye ak tòde tout sifas waf la.
Malgre twa paramèt sa yo gen rapò ak fòm ak pwopriyete jeyometrik wafer Silisyòm lan, yo mezire epi dekri yo yon fason diferan, epi enpak yo sou pwosesis semi-kondiktè a ak pwosesis wafer la diferan tou.
Plis twa paramèt yo piti, se pi bon, epi plis paramèt la gwo, se plis enpak negatif la ap genyen sou pwosesis semi-kondiktè a. Se poutèt sa, antanke pratikan semi-kondiktè, nou dwe reyalize enpòtans paramèt pwofil waf la pou tout pwosesis la, lè n ap fè pwosesis semi-kondiktè a, nou dwe peye atansyon sou detay yo.
(sansi)
Lè piblikasyon an: 24 jen 2024