Avèk devlopman kontinyèl nan teknoloji semi-conducteurs, nan endistri a semi-conducteurs ak menm endistri a fotovoltaik, kondisyon yo pou bon jan kalite sifas nan substra a wafer oswa fèy epitaxial yo tou trè strik.Se konsa, ki kondisyon yo bon jan kalite pou wafers?Lè w pran wafers safi kòm yon egzanp, ki endikatè yo ka itilize pou evalye kalite sifas yo?
Ki sa ki endikatè evalyasyon wafers yo?
Twa endikatè yo
Pou wafers safi, endikatè evalyasyon li yo se total epesè devyasyon (TTV), pliye (Bow) ak Warp (Warp).Twa paramèt sa yo ansanm reflete plat la ak inifòmite epesè nan wafer nan Silisyòm, epi yo ka mezire degre nan rid nan wafer la.Corrugation a ka konbine avèk flatness pou evalye kalite sifas wafer a.
Ki sa ki TTV, BOW, Warp?
TTV (Total Epesè Varyasyon)
TTV se diferans ki genyen ant epesè maksimòm ak minimòm yon wafer.Paramèt sa a se yon endèks enpòtan ki itilize pou mezire inifòmite epesè wafer.Nan yon pwosesis semi-conducteurs, epesè wafer la dwe trè inifòm sou tout sifas la.Anjeneral, mezi yo fèt nan senk kote sou wafer la epi yo kalkile diferans lan.Alafen, valè sa a se yon baz enpòtan pou jije kalite wafer la.
Bow
Bow nan manifakti semi-conducteurs refere a pliye nan yon wafer, libere distans ki genyen ant pwen mitan an nan yon wafer unclamped ak avyon an referans.Mo a pwobableman soti nan yon deskripsyon fòm yon objè lè li koube, tankou fòm koube yon banza.Valè Bow la defini lè w mezire devyasyon ant sant ak kwen wafer Silisyòm lan.Anjeneral valè sa a eksprime an mikromèt (µm).
Defòme
Chaîne se yon pwopriyete mondyal nan wafers ki mezire diferans ki genyen ant distans maksimòm ak minimòm ant mitan yon wafer librement debloke ak avyon referans la.Reprezante distans ki soti nan sifas la nan wafer Silisyòm nan avyon an.
Ki diferans ki genyen ant TTV, Bow, Warp?
TTV konsantre sou chanjman nan epesè epi li pa konsène ak koube oswa deformation wafer la.
Bow konsantre sou pliye an jeneral, sitou konsidere koube nan pwen sant la ak kwen an.
Warp se pi konplè, ki gen ladan koube ak trese nan sifas la wafer tout antye.
Malgre ke twa paramèt sa yo gen rapò ak fòm ak pwopriyete jeyometrik nan wafer Silisyòm lan, yo mezire ak dekri yon fason diferan, ak enpak yo sou pwosesis la semi-conducteurs ak pwosesis la wafer tou diferan.
Pi piti twa paramèt yo, pi bon an, ak pi gwo paramèt la, se pi gwo enpak negatif sou pwosesis semi-conducteurs la.Se poutèt sa, kòm yon pratikan semi-conducteurs, nou dwe reyalize enpòtans ki genyen nan paramèt pwofil wafer pou pwosesis la tout pwosesis, fè pwosesis semi-conducteurs, dwe peye atansyon sou detay.
(sansi)
Tan poste: Jun-24-2024