Lè n ap egzamine waf silikon semi-kondiktè oubyen substrat ki fèt ak lòt materyèl, nou souvan rankontre endikatè teknik tankou: TTV, BOW, WARP, e petèt TIR, STIR, LTV, pami lòt. Ki paramèt sa yo reprezante?
TTV — Varyasyon Epesè Total
BAW — Banza
WARP — Chèn
TIR — Lekti Total Endike
STIR — Lekti Total Endike sou Sit la
LTV — Varyasyon Epesè Lokal
1. Varyasyon Epesè Total — TTV
Diferans ki genyen ant epesè maksimòm ak minimòm waf la parapò ak plan referans lan lè waf la byen sere epi an kontak sere. Li jeneralman eksprime an mikwomèt (μm), souvan reprezante kòm: ≤15 μm.
2. Banza — BANZA
Devyasyon ant distans minimòm ak maksimòm ki soti nan pwen sant sifas waf la rive nan plan referans lan lè waf la nan yon eta lib (pa bloke). Sa gen ladan tou de ka konkav (kou negatif) ak konvèks (kou pozitif). Li tipikman eksprime an mikwomèt (μm), souvan reprezante kòm: ≤40 μm.
3. Chèn — WARP
Devyasyon ant distans minimòm ak maksimòm ki soti nan sifas waf la ak plan referans lan (anjeneral sifas dèyè waf la) lè waf la nan yon eta lib (san kranpon). Sa gen ladan tou de ka konkav (deformation negatif) ak konvèks (deformation pozitif). Li jeneralman eksprime an mikwomèt (μm), souvan reprezante kòm: ≤30 μm.
4. Lekti Total Endike — TIR
Lè waf la byen sere epi an kontak sere, lè l sèvi avèk yon plan referans ki minimize sòm entèsepsyon tout pwen ki nan zòn kalite a oswa yon rejyon lokal espesifik sou sifas waf la, TIR a se devyasyon ant distans maksimòm ak minimòm ki soti nan sifas waf la ak plan referans sa a.
Fonde sou yon gwo ekspètiz nan espesifikasyon materyèl semi-kondiktè tankou TTV, BOW, WARP, ak TIR, XKH bay sèvis pwosesis waf presi koutim ki adapte ak estanda endistri strik yo. Nou founi epi sipòte yon pakèt materyèl pèfòmans segondè tankou safi, carbure silikon (SiC), waf silikon, SOI, ak kwats, pou asire yon planè eksepsyonèl, konsistans epesè, ak kalite sifas pou aplikasyon avanse nan optoelektwonik, aparèy pouvwa, ak MEMS. Fè nou konfyans pou nou delivre solisyon materyèl serye ak machinasyon presizyon ki satisfè kondisyon konsepsyon ki pi mande ou yo.
Dat piblikasyon: 29 Out 2025



