Gofr SiC 4 pous 6H Semi-Izolan SiC Substrates prim, rechèch, ak klas ansekan

Deskripsyon kout:

Substra semi-izole Silisyòm karbid la fòme pa koupe, fanm, polisaj, netwayaj ak lòt teknoloji pwosesis apre kwasans kristal Silisyòm karbid semi-izole a. Yon kouch oswa yon kouch kristal miltikouch grandi sou substra a ki satisfè egzijans kalite yo kòm epitaksi, epi answit aparèy mikwo ond RF la fèt lè yo konbine konsepsyon sikwi a ak anbalaj la. Disponib kòm substra monokristal Silisyòm karbid semi-izole 2 pous 3 pous 4 pous 6 pous 8 pous endistriyèl, rechèch ak tès klas.


Karakteristik

Espesifikasyon pwodwi

Klas

Klas Pwodiksyon MPD Zewo (Klas Z)

Klas Pwodiksyon Estanda (Klas P)

Klas Enbesil (Klas D)

 
Dyamèt 99.5 milimèt ~ 100.0 milimèt  
  4H-SI 500 μm ± 20 μm

500 μm ± 25 μm

 
Oryantasyon wafer  

 

Aks deyò: 4.0° nan direksyon <1120> ±0.5° pou 4H-N, Sou aks: <0001>±0.5° pou 4H-SI

 
  4H-SI

≤1cm-2

≤5 santimèt-2

≤15 santimèt-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
Oryantasyon Plat Prensipal

{10-10} ±5.0°

 
Longè Plat Prensipal 32.5 mm ± 2.0 mm  
Longè plat segondè 18.0 mm ± 2.0 mm  
Oryantasyon Plat Segondè

Fas Silisyòm anlè: 90° nan sans orè apati de plat Prime ±5.0°

 
Eksklizyon kwen

3 milimèt

 
LTV/TTV/Banza/Chèn ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm  
 

Aspèrite

Figi C

    Polonè Ra≤1 nm

Si figi

CMP Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

Fant sou kwen akòz limyè entansite segondè

Okenn

Longè kimilatif ≤ 10 mm, yon sèl

longè ≤2 mm

 
Plak Egzagòn Pa Limyè Entansite Segondè Zòn kimilatif ≤0.05% Zòn kimilatif ≤0.1%  
Zòn Politip pa Limyè Entansite Segondè

Okenn

Zòn kimilatif ≤3%  
Enklizyon Kabòn Vizyèl Zòn kimilatif ≤0.05% Zòn kimilatif ≤3%  
Reyur sou sifas Silisyòm akòz limyè entansite segondè  

Okenn

Longè kimilatif ≤1 * dyamèt wafer la  
Edge Chips High By Entansite Light Pa gen okenn otorize ≥0.2 mm lajè ak pwofondè 5 otorize, ≤1 mm chak  
Kontaminasyon Silisyòm Sifas Pa Gwo Entansite

Okenn

 
Anbalaj

Kasèt plizyè wafer oswa veso wafer sèl

 

Dyagram detaye

Dyagram detaye (1)
Dyagram detaye (2)

  • Anvan:
  • Apre:

  • Ekri mesaj ou a isit la epi voye l ban nou