8 pous SiC Pwodiksyon klas waf 4H-N SiC substrat
Tablo ki anba la a montre espesifikasyon waf SiC 8 pous nou yo:
| Espesifikasyon DSP SiC 8 pous tip N | |||||
| Nimewo | Atik | Inite | Pwodiksyon | Rechèch | Maneken |
| 1: paramèt | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | oryantasyon sifas | ° | 4±0.5 | 4±0.5 | 4±0.5 |
| 2: Paramèt elektrik | |||||
| 2.1 | dopan | -- | Azòt tip n | Azòt tip n | Azòt tip n |
| 2.2 | rezistivite | ohm ·cm | 0.015 ~ 0.025 | 0.01 ~ 0.03 | NA |
| 3: Paramèt mekanik | |||||
| 3.1 | dyamèt | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | epesè | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Oryantasyon Notch | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Pwofondè Notch | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | Valè lavi a (LTV) | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Banza | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Deformation | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Estrikti | |||||
| 4.1 | dansite mikwopip | chak/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | kontni metal | atòm/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | chak/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | chak/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | chak/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Kalite devan | |||||
| 5.1 | devan | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | fini sifas | -- | Si-fas CMP | Si-fas CMP | Si-fas CMP |
| 5.3 | patikil | gofr/chak | ≤100 (gwosè ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | grate | gofr/chak | ≤5, Longè total ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Kwen fant/mak/fant/tach/kontaminasyon | -- | Okenn | Okenn | NA |
| 5.6 | Zòn politip yo | -- | Okenn | Zòn ≤10% | Zòn ≤30% |
| 5.7 | mak devan | -- | Okenn | Okenn | Okenn |
| 6: Kalite do | |||||
| 6.1 | fini dèyè | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | grate | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Defo dèyè kwen ti moso/endisyon | -- | Okenn | Okenn | NA |
| 6.4 | Do ki pa lis | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Make dèyè | -- | Dant | Dant | Dant |
| 7: kwen | |||||
| 7.1 | kwen | -- | Chanfren | Chanfren | Chanfren |
| 8: Pakè | |||||
| 8.1 | anbalaj | -- | Epi-pare ak vakyòm anbalaj | Epi-pare ak vakyòm anbalaj | Epi-pare ak vakyòm anbalaj |
| 8.2 | anbalaj | -- | Plizyè wafè anbalaj kasèt | Plizyè wafè anbalaj kasèt | Plizyè wafè anbalaj kasèt |
Dyagram detaye
Ekri mesaj ou a isit la epi voye l ban nou