Dia300x1.0mmt Epesè Safi Wafer C-Plane SSP/DSP
Entwodwi bwat wafer
Materyèl kristal | 99,999% nan Al2O3, pite segondè, monokristalin, Al2O3 | |||
Kalite kristal | Enklizyon, mak blòk, marasa, koulè, mikwo-bul ak sant dispèsyon pa egziste. | |||
Dyamèt | 2 pous | 3 pous | 4 pous | 6 pous ~ 12 pous |
50.8± 0.1mm | 76.2±0.2mm | 100±0.3mm | An akò ak dispozisyon ki nan pwodiksyon estanda | |
Epesè | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Èske yo ka Customized pa kliyan |
Oryantasyon | C-avyon (0001) a M-avyon (1-100) oswa A-avyon (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, R-avyon (1-1 0 2), A-avyon (1 1-2 0 ), M-plane (1-1 0 0 ), Nenpòt oryantasyon , Nenpòt ang | |||
Longè plat prensipal | 16.0±1mm | 22.0±1.0mm | 32.5±1.5 milimèt | An akò ak dispozisyon ki nan pwodiksyon estanda |
Oryantasyon prensipal plat | A-avyon (1 1-2 0 ) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
LTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
BOW | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Defòme | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Sifas devan | Epi-poli (Ra<0.2nm) |
*Bow: Devyasyon nan pwen sant nan sifas medyàn nan yon wafer gratis, san kranpon soti nan plan referans la, kote plan referans la defini pa twa kwen yo nan yon triyang ekilateral.
*Warp: Diferans ki genyen ant distans maksimòm ak distans minimòm sifas medyàn yon wafer gratis, ki pa bloke nan plan referans ki defini pi wo a.
Bon jan kalite pwodwi ak sèvis pou pwochen jenerasyon aparèy semi-conducteurs ak kwasans epitaksial:
Segondè degre nan plat (kontwole TTV, banza, chèn elatriye)
Netwayaj bon jan kalite (kontaminasyon patikil ki ba, kontaminasyon metal ki ba)
Perçage substrate, grooving, koupe, ak polisaj dèyè
Atachman done tankou pwòpte ak fòm substra (si ou vle)
Si ou gen yon bezwen pou substrats safi, tanpri ou lib pou kontakte:
lapòs:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
Nou pral tounen vin jwenn ou asap!