Dia300x1.0mmt Epesè Safi Wafer C-Plane SSP/DSP
Entwodwi bwat wafer la
Materyèl Kristal | 99,999% Al2O3, Segondè Pite, Monokristalin, Al2O3 | |||
Kalite kristal | Enklizyon, mak blòk, marasa, koulè, mikwo-bul ak sant dispèsyon yo pa egziste. | |||
Dyamèt | 2 pous | 3 pous | 4 pous | 6 pous ~ 12 pous |
50.8± 0.1mm | 76.2±0.2mm | 100 ± 0.3mm | An akò avèk dispozisyon pwodiksyon estanda yo | |
Epesè | 430±15µm | 550±15µm | 650±20µm | Ka Customized pa kliyan |
Oryantasyon | Plan C (0001) rive nan plan M (1-100) oubyen plan A (1 1-2 0) 0.2±0.1° /0.3±0.1°, plan R (1-1 0 2), plan A (1 1-2 0), plan M (1-1 0 0), nenpòt oryantasyon, nenpòt ang | |||
Longè plat prensipal la | 16.0 ± 1mm | 22.0 ± 1.0mm | 32.5±1.5 milimèt | An akò avèk dispozisyon pwodiksyon estanda yo |
Oryantasyon prensipal plat | Plan A (11-20) ± 0.2° | |||
TTV | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Valè lavi a (LTV) | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
TIR | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
BAY | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Deformation | ≤10µm | ≤15µm | ≤20µm | ≤30µm |
Sifas Devan | Epi-Poli (Ra< 0.2nm) |
*Kunzay: Devyasyon pwen sant sifas medyàn yon waf lib, ki pa bloke, soti nan plan referans lan, kote plan referans lan defini pa twa kwen yon triyang ekilateral.
*Deformation: Diferans ki genyen ant distans maksimòm ak minimòm sifas medyàn yon waf lib, ki pa sere, ak plan referans ki defini anwo a.
Pwodwi ak sèvis kalite siperyè pou aparèy semi-kondiktè pwochen jenerasyon ak kwasans epitaksiyal:
Segondè degre planite (TTV kontwole, koube, chèn elatriye)
Netwayaj kalite siperyè (ba kontaminasyon patikil, ba kontaminasyon metal)
Perçage substrat, rainure, koupe, ak polisaj dèyè
Mete done tankou pwòpte ak fòm substra a (opsyonèl)
Si ou bezwen substrats safi, tanpri pa ezite kontakte:
lapòs:eric@xkh-semitech.com+86 158 0194 2596 /doris@xkh-semitech.com+86 187 0175 6522
N ap reponn ou pi vit posib!
Dyagram detaye

