Ekipman Koupe Bag Wafer Totalman Otomatik, Gwosè Travay 8 pous/12 pous Koupe Bag Wafer
Paramèt teknik yo
Paramèt | Inite | Espesifikasyon |
Gwosè Maksimòm Materyèl Travay la | mm | ø12" |
Axe | Konfigirasyon | Yon sèl file koton |
Vitès | 3,000–60,000 rpm | |
Pouvwa Sòti | 1.8 kW (2.4 opsyonèl) a 30,000 min⁻¹ | |
Dyamèt Maksimòm Lam | Ø58 milimèt | |
Aks X | Ranje Koupe | 310 milimèt |
Aks Y | Ranje Koupe | 310 milimèt |
Ogmantasyon etap | 0.0001 milimèt | |
Presizyon Pozisyonman | ≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (yon sèl erè) | |
Aks Z | Rezolisyon Mouvman | 0.00005 milimèt |
Repetabilite | 0.001 milimèt | |
Aks θ | Wotasyon Maksimòm | 380 degre |
Kalite file koton | Yon sèl file koton, ekipe ak yon lam rijid pou koupe bag | |
Presizyon Koupe Bag | μm | ±50 |
Presizyon Pozisyon Wafer la | μm | ±50 |
Efikasite yon sèl wafer | min/wafè | 8 |
Efikasite Milti-Wafer | Jiska 4 wafer trete an menm tan | |
Pwa Ekipman | kg | ≈3,200 |
Dimansyon Ekipman (L × P × H) | mm | 2,730 × 1,550 × 2,070 |
Prensip Operasyon
Sistèm nan rive nan yon pèfòmans eksepsyonèl nan koupe zèb grasa teknoloji prensipal sa yo:
1. Sistèm Kontwòl Mouvman Entelijan:
· Motè lineyè ak gwo presizyon (presizyon pozisyonman repete: ±0.5μm)
· Kontwòl senkron sis aks ki sipòte planifikasyon trajectoire konplèks
· Algorit sipresyon Vibration an tan reyèl asire estabilite koupe
2. Sistèm Deteksyon Avanse:
· Capteur wotè lazè 3D entegre (presizyon: 0.1μm)
· Pozisyonman vizyèl CCD ki gen gwo rezolisyon (5 megapiksèl)
· Modil enspeksyon kalite sou entènèt
3. Pwosesis konplètman otomatize:
· Chaje/dechaje otomatik (konpatib ak koòdone estanda FOUP)
· Sistèm klasman entelijan
· Inite netwayaj an bouk fèmen (pwòpte: Klas 10)
Aplikasyon tipik yo
Ekipman sa a bay anpil valè nan tout aplikasyon fabrikasyon semi-kondiktè yo:
Jaden aplikasyon an | Materyèl Pwosesis | Avantaj teknik |
Fabrikasyon IC | Gofr Silisyòm 8/12" | Amelyore aliyman litografi |
Aparèy pouvwa | Gofr SiC/GaN | Anpeche domaj kwen yo |
Capteur MEMS yo | Gofr SOI yo | Asire fyablite aparèy la |
Aparèy RF yo | Gofr GaAs | Amelyore pèfòmans frekans segondè |
Anbalaj Avanse | Gofr rekonstitye | Ogmante sede anbalaj la |
Karakteristik
1. Konfigirasyon kat estasyon pou efikasite pwosesis ki wo;
2. Dekole ak retire bag TAIKO ki estab;
3. Segondè konpatibilite ak konsomab kle yo;
4. Teknoloji koupe senkronize milti-aks asire koupe kwen presizyon;
5. Pwosesis otomatik ki fonksyone a diminye depans travay yo anpil.
6. Konsepsyon tab travay Customized pèmèt pwosesis ki estab nan estrikti espesyal;
Fonksyon
1. Sistèm deteksyon gout bag;
2. Netwayaj otomatik tab travay la;
3. Sistèm dekole UV entelijan;
4. Anrejistreman jounal operasyon an;
5. Entegrasyon modil automatisation faktori;
Angajman Sèvis
XKH bay sèvis sipò konplè, pandan tout sik lavi ekipman yo, ki fèt pou maksimize pèfòmans ak efikasite operasyonèl pandan tout pwosesis pwodiksyon ou an.
1. Sèvis pèsonalizasyon
· Konfigirasyon Ekipman Personnalisé: Ekip enjenyè nou an kolabore kole kole ak kliyan yo pou optimize paramèt sistèm yo (vitès koupe, seleksyon lam, elatriye) ki baze sou pwopriyete materyèl espesifik (Si/SiC/GaAs) ak egzijans pwosesis yo.
· Sipò pou Devlopman Pwosesis: Nou ofri pwosesis echantiyon ak rapò analiz detaye ki gen ladan mezi aspè britalite kwen ak map defo.
· Ko-Devlopman Konsomab: Pou nouvo materyèl (pa egzanp, Ga₂O₃), nou asosye avèk dirijan manifaktirè konsomab yo pou devlope lam/optik lazè espesifik pou aplikasyon yo.
2. Sipò teknik pwofesyonèl
· Sipò Dedye Sou Plas: Asiyen enjenyè sètifye pou faz demaraj kritik yo (jeneralman 2-4 semèn), ki kouvri:
Kalibrasyon ekipman ak ajisteman pwosesis
Fòmasyon konpetans operatè
Gid entegrasyon chanm pwòp ISO Klas 5
· Antretyen Prediktif: Tcheke sante chak twa mwa ak analiz vibrasyon ak dyagnostik servomotè pou anpeche pann sanzatann.
· Siveyans a distans: Suivi pèfòmans ekipman an tan reyèl atravè platfòm IoT nou an (JCFront Connect®) avèk alèt anomali otomatik.
3. Sèvis ki ajoute valè
· Baz Konesans Pwosesis: Jwenn aksè a plis pase 300 resèt koupe valide pou divès materyèl (mizajou chak twa mwa).
· Aliyman Plan Aksyon Teknoloji: Pwoteje envestisman ou pou lavni ak chemen amelyorasyon pyès ki nan konpitè/lojisyèl (pa egzanp, modil deteksyon defo ki baze sou IA).
· Repons Ijans: Garanti dyagnostik a distans nan 4 èdtan ak entèvansyon sou plas nan 48 èdtan (pwoteksyon mondyal).
4. Enfrastrikti Sèvis
· Garanti Pèfòmans: Angajman kontra pou ≥98% ekipman disponib ak tan repons garanti pa SLA.
Amelyorasyon Kontinyèl
Nou fè sondaj sou satisfaksyon kliyan de fwa pa ane epi nou aplike inisyativ Kaizen pou amelyore livrezon sèvis yo. Ekip R&D nou an tradui enfòmasyon sou teren an amelyorasyon ekipman - 30% nan amelyorasyon firmwèr yo soti nan fidbak kliyan yo.

