Wafer LNOI (Lityòm Niobat sou Izolan) Telekominikasyon Deteksyon Segondè Elektwo-Optik
Dyagram detaye
Apèsi sou sijè a
Anndan bwat waf la gen siyon simetrik, dimansyon yo inifòm pou sipòte de bò waf la. Bwat kristal la jeneralman fèt ak materyèl plastik PP translisid ki rezistan a tanperati, mete ak elektrisite estatik. Yo itilize diferan koulè aditif pou distenge segman pwosesis metal yo nan pwodiksyon semi-kondiktè. Akòz ti gwosè kle semi-kondiktè yo, modèl dans yo, ak egzijans trè strik sou gwosè patikil nan pwodiksyon, bwat waf la dwe garanti yon anviwònman pwòp pou konekte ak kavite reyaksyon mikwoanviwònman bwat diferan machin pwodiksyon yo.
Metodoloji fabrikasyon
Fabrikasyon waf LNOI yo gen plizyè etap presi:
Etap 1: Enplantasyon Iyon ElyòmYo entwodui iyon elyòm yo nan yon kristal LN an gwo lè l sèvi avèk yon enplantatè iyon. Iyon sa yo rete nan yon pwofondè espesifik, sa ki fòme yon plan febli ki pral evantyèlman fasilite dekole fim nan.
Etap 2: Fòmasyon Substrat Baz laYo okside oswa kouvri yon waf silikon oswa LN apa ak SiO2 lè l sèvi avèk PECVD oswa oksidasyon tèmik. Yo planarize sifas anwo li pou yon lyezon optimal.
Etap 3: Koleksyon LN ak Substrat laKristal LN ki enplante ak iyon an ranvèse epi li tache ak waf baz la lè l sèvi avèk lyezon dirèk waf la. Nan anviwònman rechèch, yo ka itilize benzocyclobutene (BCB) kòm yon adezif pou senplifye lyezon anba kondisyon mwens strik.
Etap 4: Tretman tèmik ak separasyon fimRekui a aktive fòmasyon ti boul nan pwofondè kote yo te enplante a, sa ki pèmèt separasyon fim mens lan (kouch LN ki anlè a) ak mas la. Yo itilize fòs mekanik pou konplete èksfolyasyon an.
Etap 5: Polisaj sifasYo aplike Polisaj Mekanik Chimik (CMP) pou lis sifas LN anwo a, pou amelyore kalite optik ak rannman aparèy la.
Paramèt teknik
| Materyèl | Optik Klas LiNbO3 gof (Blan) or Nwa) | |
| Curie Tanperati | 1142 ± 0.7 ℃ | |
| Koupe Ang | X/Y/Z elatriye | |
| Dyamèt/gwosè | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 milimèt ±0.005 milimèt | |
| Epesè | 0.18 ~ 0.5mm oswa plis | |
| Prensipal Plat | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| Banza | -30 | |
| Deformation | <40μm | |
| Oryantasyon Plat | Tout disponib | |
| Sifas Kalite | Yon sèl bò poli (SSP) / Doub bò poli (DSP) | |
| Poli bò Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| Kwen Kritè yo | R=0.2mm Kalite C or Nen Bou | |
| Kalite | Gratis of krak (ti boul) epi enklizyon) | |
| Optik dope | Mg/Fe/Zn/MgO elatriye pou optik klas LN gofr pa mande | |
| Gofr Sifas Kritè yo | Endis refraksyon | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm longèdonn/metòd kouplè prism. |
| Kontaminasyon, | Okenn | |
| Patikil c>0.3μ m | <=30 | |
| Grate, Chipping | Okenn | |
| Defo | Pa gen fant sou kwen, reyur, mak si, tach | |
| Anbalaj | Kantite/Bwat gofr | 25 moso pa bwat |
Ka Itilizasyon
Akòz adaptabilite ak pèfòmans li, LNOI itilize nan plizyè endistri:
Fotonik:Modilatè kontra enfòmèl ant, miltipleksè, ak sikui fotonik.
RF/Akoustik:Modilatè akusto-optik, filtè RF.
Enfòmatik Kwantik:Melanjè frekans nonlineyè ak dèlko pè foton.
Defans ak Ayewospasyal:Jiroskop optik ki gen ti pèt, aparèy chanjman frekans.
Aparèy Medikal:Biosansè optik ak sond siyal wo frekans.
FAQ
K: Poukisa yo prefere LNOI pase SOI nan sistèm optik yo?
A:LNOI prezante koyefisyan elektwo-optik siperyè ak yon seri transparans ki pi laj, sa ki pèmèt pi gwo pèfòmans nan sikui fotonik yo.
K: Èske CMP obligatwa apre separasyon?
A:Wi. Sifas LN ki ekspoze a vin graj apre koupe ak iyon epi li dwe poli pou satisfè espesifikasyon optik yo.
K: Ki gwosè maksimòm wafer ki disponib?
A:Gato LNOI komèsyal yo se prensipalman 3" ak 4", byenke gen kèk founisè k ap devlope varyant 6".
K: Èske kouch LN lan ka re-itilize apre separasyon an?
A:Ou ka poli kristal de baz la ankò epi itilize l plizyè fwa, byenke kalite a ka degrade apre plizyè sik.
K: Èske waf LNOI yo konpatib ak pwosesis CMOS la?
A:Wi, yo fèt pou aliyen ak pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè konvansyonèl yo, sitou lè yo itilize substrats silikon.
