Microjet lazè teknoloji ekipman wafer koupe SiC materyèl pwosesis

Deskripsyon kout:

Ekipman teknoloji Microjet lazè se yon kalite sistèm machin presizyon ki konbine lazè enèji segondè ak jè likid mikron-nivo. Lè yo kouple reyon lazè a ak gwo vitès jè likid (dlo deyonize oswa likid espesyal), pwosesis materyèl la ak gwo presizyon ak domaj tèmik ki ba ka reyalize. Teknoloji sa a espesyalman apwopriye pou koupe, perçage ak pwosesis mikrostruktur materyèl difisil ak frajil (tankou SiC, safi, vè), epi li lajman ki itilize nan semi-conducteurs, ekspozisyon foto-elektrik, aparèy medikal ak lòt jaden.

Voye imèl ba nou

Pwodwi detay

Tags pwodwi

Prensip travay:

1. lazè couplage: lazè enpulsyonèl (UV/vèt/enfrawouj) konsantre andedan likid jè a pou fòme yon chanèl transmisyon enèji ki estab.

2. Likid gid: gwo vitès jè (koule pousantaj 50-200m / s) refwadisman zòn nan pwosesis epi retire debri pou fè pou evite akimilasyon chalè ak polisyon.

3. Retire materyèl: Enèji lazè a lakòz efè kavitasyon nan likid la reyalize pwosesis frèt nan materyèl la (chalè ki afekte zòn <1μm).

4. Kontwòl dinamik: ajisteman an tan reyèl nan paramèt lazè (pouvwa, frekans) ak presyon jè pou satisfè bezwen diferan materyèl ak estrikti.

Paramèt kle:

1. Lazè pouvwa: 10-500W (reglabl)

2. Jet dyamèt: 50-300μm

3.Machining presizyon: ± 0.5μm (koupe), pwofondè ak lajè rapò 10: 1 (perçage)

Avantaj teknik:

(1) Prèske zewo domaj chalè
- Refwadisman jè likid kontwole zòn ki afekte chalè a (HAZ) a **<1μm**, evite mikwo-fant ki te koze pa pwosesis konvansyonèl lazè (HAZ se anjeneral> 10μm).

(2) D' ultra-wo presizyon
- Koupe/perçage jistès jiska **±0.5μm**, kwen brutality Ra<0.2μm, redwi nesesite pou polisaj ki vin apre.

- Sipòte pwosesis estrikti konplèks 3D (tankou twou konik, fant ki gen fòm).

(3) Lajè konpatibilite materyèl
- Materyèl difisil ak frajil: SiC, safi, vè, seramik (metòd tradisyonèl yo fasil kraze).

- Materyèl sansib chalè: polymère, tisi byolojik (pa gen okenn risk pou denaturasyon tèmik).

(4) Pwoteksyon anviwònman ak efikasite
- Pa gen polisyon pousyè, likid ka resikle ak filtre.

- 30% -50% ogmantasyon nan vitès pwosesis (vs. D).

(5) Entelijan kontwòl
- Entegre pwezante vizyèl ak optimize paramèt AI, epesè materyèl adaptasyon ak domaj.

Espesifikasyon teknik:

Volim kontwa	300 * 300 * 150	400 * 400 * 200
Aks lineyè XY	Motè lineyè. Motè lineyè	Motè lineyè. Motè lineyè
Aks lineyè Z	150	200
Pozisyon presizyon μm	+/-5	+/-5
Repete pwezante presizyon μm	+/-2	+/-2
Akselerasyon G	1	0.29
Kontwòl nimerik	3 aks / 3 + 1 aks / 3 + 2 aks	3 aks / 3 + 1 aks / 3 + 2 aks
Kalite kontwòl nimerik	DPSS Nd:YAG	DPSS Nd:YAG
Longèdonn nm	532/1064	532/1064
Pouvwa nominal W	50/100/200	50/100/200
Dlo jè	40-100	40-100
Bar presyon bouch	50-100	50-600
Dimansyon (machin zouti) (lajè * longè * wotè) mm	144519442260	1700 * 1500 * 2120
Gwosè (kabinè kontwòl) (W * L * H)	700 * 2500 * 1600	700 * 2500 * 1600
Pwa (ekipman) T	2.5	3
Pwa (kabinè kontwòl) KG	800	800
Pwosesis kapasite	Sifas brutality Ra≤1.6um Vitès ouvèti ≥1.25mm/s Koupe sikonferans ≥6mm/s Vitès koupe lineyè ≥50mm/s	Sifas brutality Ra≤1.2um Vitès ouvèti ≥1.25mm/s Koupe sikonferans ≥6mm/s Vitès koupe lineyè ≥50mm/s
	Pou kristal nitrure Galyòm, materyèl semi-conducteurs ultra-lajè band gap (dyaman / oksid Galyòm), materyèl espesyal ayewospasyal, LTCC kabòn substrate seramik, fotovoltaik, kristal scintillator ak lòt pwosesis materyèl. Remak: Kapasite pwosesis varye selon karakteristik materyèl yo

Pwosesis ka:

Sèvis XKH yo:

XKH bay yon seri konplè sipò sèvis sik lavi pou ekipman teknoloji microjet lazè, soti nan devlopman pwosesis byen bonè ak konsiltasyon seleksyon ekipman, nan entegrasyon nan sistèm Customized mitan tèm (ki gen ladan matche espesyal nan sous lazè, sistèm jè ak modil automatisation), nan operasyon an pita ak fòmasyon antretyen ak optimize pwosesis kontinyèl, tout pwosesis la ekipe ak sipò ekip teknik pwofesyonèl; Ki baze sou 20 ane eksperyans nan machin presizyon, nou ka bay solisyon yon sèl-stop ki gen ladan verifikasyon ekipman, entwodiksyon pwodiksyon an mas ak apre-lavant repons rapid (24 èdtan nan sipò teknik + rezèv kle pyès rezèv) pou endistri diferan tankou semi-conducteurs ak medikal, ak pwomès 12 mwa garanti long ak antretyen dire tout lavi ak sèvis ajou. Asire ke ekipman kliyan toujou kenbe pèfòmans pwosesis endistri-dirijan ak estabilite.