Nan pwosesis devlopman rapid endistri semi-kondiktè a, kristal sèl poliwaf silikonjwe yon wòl enpòtan. Yo sèvi kòm materyèl fondamantal pou pwodiksyon divès aparèy mikwoelektwonik. Soti nan sikui entegre konplèks ak presi rive nan mikropwosesè gwo vitès ak detèktè miltifonksyonèl, kristal sèl poliwaf silikonyo esansyèl. Diferans ki genyen nan pèfòmans ak espesifikasyon yo afekte dirèkteman kalite ak pèfòmans pwodwi final yo. Anba la a se espesifikasyon ak paramèt komen nan waf silikon monokristal poli yo:

Dyamèt: Yo mezire gwosè tranch silikon monokristal semi-kondiktè yo pa dyamèt yo, epi yo vini nan yon varyete espesifikasyon. Dyamèt komen yo enkli 2 pous (50.8mm), 3 pous (76.2mm), 4 pous (100mm), 5 pous (125mm), 6 pous (150mm), 8 pous (200mm), 12 pous (300mm), ak 18 pous (450mm). Diferan dyamèt yo adapte pou divès bezwen pwodiksyon ak egzijans pwosesis. Pa egzanp, tranch ki gen pi piti dyamèt yo souvan itilize pou aparèy mikwoelektwonik espesyal, ti volim, alòske tranch ki gen pi gwo dyamèt demontre pi gwo efikasite pwodiksyon ak avantaj pri nan fabrikasyon sikwi entegre gwo echèl. Egzijans sifas yo klase kòm poli yon sèl bò (SSP) ak poli doub bò (DSP). Tranch poli yon sèl bò yo itilize pou aparèy ki mande gwo plati sou yon bò, tankou sèten detèktè. Tranch poli doub bò yo souvan itilize pou sikwi entegre ak lòt pwodwi ki mande gwo presizyon sou tou de sifas yo. Kondisyon Sifas (Fini): SSP poli sou yon sèl bò / DSP poli sou doub bò.

Kalite/Dopan: (1) Semi-kondiktè tip N: Lè yo entwodui sèten atòm enpurte nan semi-kondiktè intrinsèk la, yo chanje konduktivite li. Pa egzanp, lè yo ajoute eleman pentavalan tankou azòt (N), fosfò (P), asenik (As), oswa antimony (Sb), elektwon valans yo fòme lyezon kovalan ak elektwon valans atòm Silisyòm ki antoure yo, sa ki kite yon elektwon anplis ki pa lye pa yon lyezon kovalan. Sa lakòz yon konsantrasyon elektwon ki pi gran pase konsantrasyon twou a, sa ki fòme yon semi-kondiktè tip N, ke yo rele tou yon semi-kondiktè tip elektwon. Semi-kondiktè tip N yo enpòtan anpil nan fabrikasyon aparèy ki bezwen elektwon kòm prensipal transpòtè chaj yo, tankou sèten aparèy pouvwa. (2) Semi-kondiktè tip P: Lè yo entwodui eleman enpurte trivalan tankou bor (B), galyòm (Ga), oswa endyòm (In) nan semi-kondiktè Silisyòm nan, elektwon valans atòm enpurte yo fòme lyezon kovalan ak atòm Silisyòm ki antoure yo, men yo manke omwen yon elektwon valans epi yo pa ka fòme yon lyezon kovalan konplè. Sa mennen nan yon konsantrasyon twou ki pi gran pase konsantrasyon elektwon an, sa ki fòme yon semi-kondiktè tip P, ke yo rele tou yon semi-kondiktè tip twou. Semi-kondiktè tip P yo jwe yon wòl kle nan fabrikasyon aparèy kote twou yo sèvi kòm prensipal transpòtè chaj yo, tankou dyòd ak sèten tranzistò.

Rezistivite: Rezistivite se yon kantite fizik kle ki mezire konduktivite elektrik waf silikon monokristal poli yo. Valè li reflete pèfòmans kondiktif materyèl la. Pi ba rezistivite a, se pi bon konduktivite waf silikon an; okontrè, pi wo rezistivite a, se pi pòv konduktivite a. Rezistivite waf silikon yo detèmine pa pwopriyete materyèl natirèl yo, epi tanperati a gen yon enpak siyifikatif tou. Anjeneral, rezistivite waf silikon yo ogmante ak tanperati. Nan aplikasyon pratik, diferan aparèy mikwoelektwonik gen diferan kondisyon rezistivite pou waf silikon yo. Pa egzanp, waf yo itilize nan fabrikasyon sikwi entegre bezwen kontwòl presi sou rezistivite pou asire pèfòmans aparèy ki estab ak serye.

Oryantasyon: Oryantasyon kristal waf la reprezante direksyon kristalografik rezo Silisyòm lan, tipikman espesifye pa endis Miller tankou (100), (110), (111), elatriye. Diferan oryantasyon kristal yo gen diferan pwopriyete fizik, tankou dansite liy, ki varye selon oryantasyon an. Diferans sa a ka afekte pèfòmans waf la nan etap pwosesis ki vin apre yo ak pèfòmans final aparèy mikwoelektwonik yo. Nan pwosesis fabrikasyon an, chwazi yon waf Silisyòm ak oryantasyon ki apwopriye pou diferan kondisyon aparèy yo ka optimize pèfòmans aparèy la, amelyore efikasite pwodiksyon an, epi amelyore kalite pwodwi a.

Plat/Ankra: Bò plat la (Flat) oubyen ankra an V (Notch) sou sikonferans wafer silikon an jwe yon wòl enpòtan nan aliyman oryantasyon kristal la epi li se yon idantifyan enpòtan nan fabrikasyon ak pwosesis wafer la. Wafer ki gen diferan dyamèt koresponn ak diferan estanda pou longè Plat la oubyen Ankra a. Bò aliyman yo klase an plat prensipal ak plat segondè. Plat prensipal la sitou itilize pou detèmine oryantasyon kristal debaz la ak referans pwosesis wafer la, pandan ke plat segondè a ede plis nan aliyman ak pwosesis presi, asire operasyon egzat ak konsistans wafer la nan tout liy pwodiksyon an.

Epesè: Epesè yon wafer tipikman espesifye an mikwomèt (μm), ak epesè komen ant 100μm ak 1000μm. Wafer ki gen diferan epesè yo apwopriye pou diferan kalite aparèy mikwoelektwonik. Wafer ki pi mens (pa egzanp, 100μm - 300μm) yo souvan itilize pou fabrikasyon chip ki mande yon kontwòl epesè strik, sa ki diminye gwosè ak pwa chip la epi ogmante dansite entegrasyon an. Wafer ki pi epè (pa egzanp, 500μm - 1000μm) yo lajman itilize nan aparèy ki mande pi gwo fòs mekanik, tankou aparèy semi-kondiktè pouvwa, pou asire estabilite pandan operasyon.

Asperite Sifas: Asperite sifas la se youn nan paramèt kle yo pou evalye kalite waf la, paske li afekte dirèkteman adezyon ant waf la ak materyèl fim mens ki depoze apre sa yo, ansanm ak pèfòmans elektrik aparèy la. Li anjeneral eksprime kòm asperite mwayèn rasin kare (RMS) (an nm). Asperite sifas ki pi ba vle di sifas waf la pi lis, sa ki ede diminye fenomèn tankou dispèsyon elektwon epi amelyore pèfòmans ak fyab aparèy la. Nan pwosesis fabrikasyon semi-kondiktè avanse, egzijans asperite sifas yo ap vin pi sevè, espesyalman pou fabrikasyon sikwi entegre wo nivo, kote asperite sifas la dwe kontwole a kèk nanomèt oswa menm pi ba.

Varyasyon Epesè Total (TTV): Varyasyon epesè total la refere a diferans ki genyen ant epesè maksimòm ak minimòm yo mezire nan plizyè pwen sou sifas waf la, tipikman eksprime an μm. Yon TTV ki wo ka mennen nan devyasyon nan pwosesis tankou fotolitografi ak grave, sa ki afekte konsistans pèfòmans aparèy la ak rannman an. Se poutèt sa, kontwole TTV pandan fabrikasyon waf la se yon etap kle nan asire kalite pwodwi a. Pou fabrikasyon aparèy mikwoelektwonik ki gen gwo presizyon, TTV a tipikman oblije nan kèk mikwomèt.

Koube: Koube refere a devyasyon ki genyen ant sifas wafer la ak plan plat ideyal la, tipikman mezire an μm. Wafer ki gen twòp koube ka kraze oswa sibi estrès inegal pandan pwosesis ki vin apre a, sa ki afekte efikasite pwodiksyon an ak kalite pwodwi a. Espesyalman nan pwosesis ki mande pou gwo platèsman, tankou fotolitografi, koube a dwe kontwole nan yon seri espesifik pou asire presizyon ak konsistans modèl fotolitografik la.

Deformation: Deformation endike devyasyon ki genyen ant sifas waf la ak fòm esferik ideyal la, ki mezire tou an μm. Menm jan ak koube, deformation se yon endikatè enpòtan pou platwaf la. Deformation twòp pa sèlman afekte presizyon plasman waf la nan ekipman pwosesis la, men li kapab lakòz pwoblèm tou pandan pwosesis anbalaj chip la, tankou move lyezon ant chip la ak materyèl anbalaj la, ki an vire afekte fyab aparèy la. Nan fabrikasyon semi-kondiktè wo nivo, egzijans deformation yo ap vin pi sevè pou satisfè demand pwosesis fabrikasyon chip ak anbalaj avanse yo.

Pwofil Kwen: Pwofil kwen yon waf enpòtan anpil pou tretman ak manipilasyon li apre sa. Li tipikman espesifye pa Zòn Eksklizyon Kwen an (EEZ), ki defini distans ki soti nan kwen waf la kote okenn tretman pa otorize. Yon pwofil kwen ki byen fèt ak yon kontwòl EEZ presi ede evite domaj kwen, konsantrasyon estrès, ak lòt pwoblèm pandan tretman an, amelyore kalite ak rannman jeneral waf la. Nan kèk pwosesis fabrikasyon avanse, presizyon pwofil kwen an oblije nan nivo sub-mikwon.

Kantite Patikil: Kantite ak distribisyon gwosè patikil yo sou sifas waf la afekte pèfòmans aparèy mikwoelektwonik yo anpil. Patikil ki twòp oswa ki gwo ka lakòz pann aparèy, tankou kous kout oswa flit, sa ki diminye rannman pwodwi a. Se poutèt sa, yo anjeneral mezire kantite patikil yo lè yo konte patikil yo pou chak inite sifas, tankou kantite patikil ki pi gwo pase 0.3μm. Kontwòl strik sou kantite patikil pandan fabrikasyon waf la se yon mezi esansyèl pou asire kalite pwodwi a. Teknoloji netwayaj avanse ak yon anviwònman pwodiksyon pwòp yo itilize pou minimize kontaminasyon patikil sou sifas waf la.

Pwodiksyon ki gen rapò

Kalite Substra Silisyòm Wafer Kristal Single Si N/P Opsyonèl Wafer Silisyòm Carbide

Wafer FZ CZ Si an stock 12 pous wafer Silisyòm Premye oswa Tès