P-tip SiC wafer 4H/6H-P 3C-N 6inch epesè 350 μm ak Oryantasyon Prensipal Flat
Specification4H/6H-P Kalite SiC Substrate konpoze Tablo paramèt komen
6 pous dyamèt Silisyòm Carbide (SiC) Substrate Spesifikasyon
| Klas | Zewo MPD PwodiksyonKlas (Z klas) | Pwodiksyon CreoleKlas (P klas) | Enbesil Klas (D klas) | ||
| Dyamèt | 145.5 mm ~ 150.0 mm | ||||
| Epesè | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Oryantasyon wafer | -Offaks: 2.0°-4.0°vers [1120] ± 0.5° pou 4H/6H-P, Sou aks:〈111〉± 0.5° pou 3C-N | ||||
| Dansite Micropipe | 0 cm-2 | ||||
| Rezistivite | p-tip 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| n-tip 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Oryantasyon Prensipal Flat | 4H/6H-P | -{1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | -{110} ± 5.0° | ||||
| Longè plat prensipal | 32.5 milimèt ± 2.0 milimèt | ||||
| Longè plat segondè | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Oryantasyon Segondè Flat | Silisyòm fas anlè: 90° CW. soti nan Premye plat ± 5.0° | ||||
| Eksklizyon Edge | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Bow/Warp | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Brutalizasyon | Polonè Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Fant Edge pa limyè entansite segondè | Okenn | Kimilatif longè ≤ 10 mm, yon sèl longè≤2 mm | |||
| Plak Egzagòn Pa Limyè Entansite Segondè | Zòn kimilatif ≤0.05% | Zòn kimilatif ≤0.1% | |||
| Zòn politip pa limyè entansite segondè | Okenn | Zòn kimilatif ≤3% | |||
| Enklizyon vizyèl Kabòn | Zòn kimilatif ≤0.05% | Zòn kimilatif ≤3% | |||
| Silisyòm sifas rayures pa gwo entansite limyè | Okenn | Kimilatif longè≤1 × wafer dyamèt | |||
| Chips Edge segondè pa limyè entansite | Okenn pèmèt ≥0.2mm lajè ak pwofondè | 5 pèmèt, ≤1 mm chak | |||
| Silisyòm Sifas kontaminasyon pa gwo entansite | Okenn | ||||
| Anbalaj | Multi-wafer Cassette oswa Single Wafer Container | ||||
Nòt:
※ Limit defo aplike nan tout sifas wafer eksepte zòn esklizyon kwen an. # Reyalite yo ta dwe tcheke sou figi Si o
P-tip SiC wafer la, 4H/6H-P 3C-N, ak gwosè 6-pous li yo ak 350 μm epesè, jwe yon wòl enpòtan nan pwodiksyon endistriyèl la nan elektwonik pouvwa pèfòmans-wo. Ekselan konduktiviti tèmik li yo ak segondè vòltaj pann fè li ideyal pou konpozan fabrikasyon tankou switch pouvwa, dyod, ak tranzistò yo itilize nan anviwònman tanperati ki wo tankou machin elektrik, griy elektrik, ak sistèm enèji renouvlab. Kapasite wafer a pou opere avèk efikasite nan kondisyon difisil asire pèfòmans serye nan aplikasyon endistriyèl ki mande dansite pouvwa segondè ak efikasite enèji. Anplis de sa, oryantasyon prensipal plat li yo ede nan aliyman egzak pandan fabrikasyon aparèy, amelyore efikasite pwodiksyon ak konsistans pwodwi.
Avantaj ki genyen nan N-tip SiC substra konpoze gen ladan yo
- Segondè konduktivite tèmik: P-type SiC wafers efikasman gaye chalè, fè yo ideyal pou aplikasyon pou wo-tanperati.
- Segondè Pann Voltage: Kapab reziste vòltaj segondè, asire fyab nan elektwonik pouvwa ak aparèy wo-vòltaj.
- Rezistans nan anviwònman difisil: Ekselan durability nan kondisyon ekstrèm, tankou tanperati ki wo ak anviwònman korozivite.
- Konvèsyon pouvwa efikas: Dopaj P-type a fasilite manyen pouvwa efikas, fè wafer la apwopriye pou sistèm konvèsyon enèji.
- Oryantasyon Prensipal Flat: Asire aliyman egzak pandan fabrikasyon, amelyore presizyon aparèy ak konsistans.
- Estrikti mens (350 μm): Epesè optimal wafer la sipòte entegrasyon nan aparèy elektwonik avanse, espas ki limite.
An jeneral, P-type SiC wafer a, 4H/6H-P 3C-N, ofri yon seri de avantaj ki fè li trè apwopriye pou aplikasyon endistriyèl ak elektwonik. Konduktivite tèmik segondè li yo ak vòltaj pann pèmèt operasyon serye nan tanperati ki wo ak wo-vòltaj anviwònman, pandan y ap rezistans li nan kondisyon piman bouk asire durability. Dopaj P-tip pèmèt pou konvèsyon pouvwa efikas, fè li ideyal pou elektwonik pouvwa ak sistèm enèji. Anplis de sa, oryantasyon plat prensipal wafer la asire aliyman egzak pandan pwosesis fabrikasyon an, amelyore konsistans pwodiksyon an. Avèk yon epesè 350 μm, li se byen adapte pou entegrasyon nan avanse, aparèy kontra enfòmèl ant.
Dyagram detaye
