Ekipman pou leve lazè semi-kondiktè
Dyagram detaye
Apèsi sou pwodwi ekipman pou leve lazè
Ekipman pou retire kouch lazè semi-kondiktè a reprezante yon solisyon nouvo jenerasyon pou rafinman lengote avanse nan pwosesis materyèl semi-kondiktè. Kontrèman ak metòd tradisyonèl wafering ki depann sou fanm mekanik, si fil dyaman, oswa planarizasyon chimik-mekanik, platfòm ki baze sou lazè sa a ofri yon altènatif san kontak, ki pa destriktif pou detache kouch ultra-mens nan lengote semi-kondiktè an gwo.
Optimize pou materyèl frajil ak materyèl ki gen anpil valè tankou nitrid galyòm (GaN), kabid Silisyòm (SiC), safi, ak asenirid galyòm (GaAs), Ekipman Dekole Lazè Semi-kondiktè a pèmèt koupe avèk presizyon fim echèl wafer dirèkteman nan lengote kristal la. Teknoloji inovatè sa a diminye anpil gaspiyaj materyèl, amelyore debi, epi amelyore entegrite substrat la — tout bagay sa yo enpòtan pou aparèy pwochen jenerasyon nan elektwonik pouvwa, sistèm RF, fotonik, ak mikwo-ekran.
Avèk yon anfaz sou kontwòl otomatik, fòmasyon gwo bout bwa, ak analiz entèraksyon lazè-materyèl, Ekipman Lift-Off Lazè Semi-kondiktè a fèt pou entegre san pwoblèm nan travay fabrikasyon semi-kondiktè yo tout pandan y ap sipòte fleksibilite R&D ak évolutivité pwodiksyon an mas.
Teknoloji ak Prensip Operasyon Ekipman Detachman Lazè
Pwosesis Ekipman Lazè Semi-conducteur a fè a kòmanse lè li iradye lengote donatè a soti nan yon bò lè l sèvi avèk yon reyon lazè iltravyolèt ki gen anpil enèji. Reyon sa a byen konsantre sou yon pwofondè entèn espesifik, tipikman sou yon koòdone ki byen fèt, kote absòpsyon enèji a maksimize akòz kontras optik, tèmik oswa chimik.
Nan kouch absòpsyon enèji sa a, chofaj lokalize a mennen nan yon mikwo-eksplozyon rapid, ekspansyon gaz, oswa dekonpozisyon yon kouch entèfasyal (pa egzanp, yon fim estrès oswa oksid sakrifisyèl). Dezòd kontwole avèk presizyon sa a lakòz kouch kristalin siperyè a — ki gen yon epesè plizyè dizèn mikwomèt — detache pwòpman de lengote baz la.
Ekipman Detachman Lazè Semi-kondiktè a itilize tèt eskanè senkronize ak mouvman, kontwòl aks z pwogramasyon, ak reflektometri an tan reyèl pou asire chak pulsasyon delivre enèji egzakteman nan plan sib la. Ekipman an kapab tou konfigire ak kapasite mòd rafale oswa milti-pulsasyon pou amelyore fluidite detachman an epi minimize estrès rezidyèl. Sa ki enpòtan, paske reyon lazè a pa janm an kontak fizikman ak materyèl la, risk mikwo-krak, koube, oswa sifas eklate redwi anpil.
Sa fè metòd eklèsi lazè a chanje tout bagay, patikilyèman nan aplikasyon kote yo bezwen tranch ultra plat ak ultra mens ak TTV (Varyasyon Epesè Total) sub-mikron.
Paramèt Ekipman Detachman Lazè Semi-kondiktè
| Longèdonn | IR/SHG/THG/FHG |
|---|---|
| Lajè pulsasyon | Nanosegond, Pikosegond, Femtosegond |
| Sistèm Optik | Sistèm optik fiks oswa sistèm galvano-optik |
| XY Etap | 500 milimèt × 500 milimèt |
| Ranje Pwosesis | 160 milimèt |
| Vitès Mouvman | Maksimòm 1,000 mm/segonn |
| Repetabilite | ±1 μm oubyen mwens |
| Presizyon Pozisyon Absoli: | ±5 μm oubyen mwens |
| Gwosè wafè | 2–6 pous oubyen pèsonalize |
| Kontwòl | Fenèt 10, 11 ak PLC |
| Vòltaj ekipman pou pouvwa | AC 200 V ±20 V, Monofaz, 50/60 kHz |
| Dimansyon ekstèn yo | 2400 mm (lajè) × 1700 mm (pwofondè) × 2000 mm (wotè) |
| Pwa | 1,000 kilogram |
Aplikasyon Endistriyèl Ekipman Detachman Lazè
Ekipman pou leve lazè semi-kondiktè ap transfòme rapidman fason yo prepare materyèl yo nan plizyè domèn semi-kondiktè:
- Aparèy pouvwa GaN vètikal pou ekipman leve-off lazè
Dekole fim GaN-sou-GaN ultra-mens yo soti nan lengote an gwo pèmèt achitekti kondiksyon vètikal ak reyitilizasyon substrats chè yo.
- SiC Wafer Thinning pou Aparèy Schottky ak MOSFET
Diminye epesè kouch aparèy la pandan y ap prezève planarite substrat la — ideyal pou elektwonik pouvwa ki chanje rapidman.
- Materyèl LED ak ekspozisyon ki baze sou safi pou ekipman dekolaj lazè
Pèmèt separasyon efikas kouch aparèy yo soti nan boul safi yo pou sipòte pwodiksyon mikwo-LED mens ak optimize tèmikman.
- Jeni Materyèl III-V pou Ekipman Detachman Lazè
Fasilite detachman kouch GaAs, InP, ak AlGaN pou entegrasyon optoelektwonik avanse.
- Sikwi Entegre ak Capteur Mens-Wafer
Pwodui kouch fonksyonèl mens pou detèktè presyon, akseleromèt, oswa fotodyòd, kote ankonbran se yon blokaj pèfòmans.
- Elektwonik fleksib ak transparan
Prepare substrats ultra-mens ki apwopriye pou ekran fleksib, sikui pòtab, ak fenèt entelijan transparan.
Nan chak nan domèn sa yo, Ekipman Detachman Lazè Semi-kondiktè jwe yon wòl enpòtan nan pèmèt miniaturizasyon, reyitilizasyon materyèl, ak senplifikasyon pwosesis.
Kesyon yo poze souvan (FAQ) sou ekipman pou leve lazè
K1: Ki epesè minimòm mwen ka reyalize lè m sèvi ak Ekipman Lift-Off Lazè Semi-kondiktè a?
A1:Tipikman ant 10–30 mikron selon materyèl la. Pwosesis la kapab bay rezilta ki pi mens ak konfigirasyon modifye.
K2: Èske yo ka itilize sa pou koupe plizyè wafè nan menm lengote a?
A2:Wi. Anpil kliyan itilize teknik demonte lazè a pou fè ekstraksyon an seri plizyè kouch mens soti nan yon sèl lengote an gwo.
K3: Ki karakteristik sekirite ki enkli pou operasyon lazè ki gen gwo puisans?
A3:Bwat Klas 1, sistèm entèblokaj, pwoteksyon kont gwo bout bwa, ak are otomatik yo tout estanda.
K4: Ki jan sistèm sa a konpare ak si fil dyaman an tèm de pri?
A4:Malgre ke depans kapital inisyal yo ka pi wo, demaraj lazè a diminye anpil depans konsomab yo, domaj substrats yo, ak etap pòs-pwosesis yo — sa ki diminye pri total de detansyon (TCO) alontèm.
K5: Èske pwosesis la évolutif pou lengote 6 pous oswa 8 pous?
A5:Absoliman. Platfòm nan sipòte substrats jiska 12 pous ak distribisyon gwo bout bwa inifòm ak platfòm mouvman gwo fòma.
Konsènan nou
XKH espesyalize nan devlopman gwo teknoloji, pwodiksyon ak lavant vè optik espesyal ak nouvo materyèl kristal. Pwodwi nou yo sèvi elektwonik optik, elektwonik konsomatè ak militè a. Nou ofri konpozan optik safi, kouvèti lantiy telefòn mobil, seramik, LT, Silisyòm Carbide SIC, Quartz ak waf kristal semi-kondiktè. Avèk ekspètiz kalifye ak ekipman dènye kri, nou eksele nan pwosesis pwodwi ki pa estanda, epi nou vize pou nou vin yon antrepriz gwo teknoloji dirijan nan materyèl optoelektwonik.
