SiC seramik plato plak grafit ak kouch CVD SiC pou ekipman

Deskripsyon kout:

Shanghai Xinkehui New Materials co, Ltd pwodui Φ380mm–Φ600mm semi-conducteurs grave disk, wafer kote yo pote disk, plato carbure Silisyòm, plato SIC, plato carbure Silisyòm, plato grave ICP, plato grave, pite carbure Silisyòm> 99.9%, SIC plato lavi sèvis. se kat fwa sa yo ki nan plato CVD ki baze sou grafit, itilize alontèm san deformation, Rezistan nan asid FH, konsantre H2So4 korozyon.

Voye imèl ba nou

Pwodwi detay

Tags pwodwi

Seramik carbure Silisyòm yo pa sèlman itilize nan etap depo fim mens, tankou epitaksi oswa MOCVD, oswa nan pwosesis wafer, nan kè a nan ki plato yo transpòtè wafer pou MOCVD yo premye sibi anviwònman an depo, epi yo Se poutèt sa trè rezistan a chalè ak korozyon.SiC-kouvwi transpòtè tou gen gwo konduktiviti tèmik ak ekselan pwopriyete distribisyon tèmik.

Pi bon kalite chimik Vapè Depozisyon Silisyòm Carbide (CVD SiC) transpòtè wafer pou segondè tanperati Metal Organic Chimik Vapè Depozisyon (MOCVD) pwosesis.

Pi bon kalite transpòtè wafer CVD SiC yo siyifikativman siperyè ak transpòtè wafer konvansyonèl yo itilize nan pwosesis sa a, ki se grafit ak kouvwi ak yon kouch CVD SiC. transpòtè sa yo kouvwi grafit ki baze sou pa ka kenbe tèt ak tanperati ki wo (1100 a 1200 degre Sèlsiyis) ki nesesè pou depo GaN nan gwo klète jodi a ble ak blan dirije. Tanperati wo yo lakòz kouch la devlope ti twou pinhol nan ki pwosesis pwodui chimik yo erode grafit ki anba a. Lè sa a, patikil grafit yo dekole epi kontamine GaN la, sa ki lakòz konpayi asirans lan kouvri yo dwe ranplase.

CVD SiC gen yon pite 99.999% oswa plis e li gen gwo konduktiviti tèmik ak rezistans chòk tèmik. Se poutèt sa, li ka kenbe tèt ak tanperati ki wo ak anviwònman piman bouk nan manifakti ki ap dirije segondè klète. Li se yon materyèl solid monolitik ki rive nan dansite teyorik, pwodui patikil minim, epi montre rezistans korozyon ak ewozyon trè wo. Materyèl la ka chanje opakite ak konduktivite san yo pa entwodwi enpurte metalik. Pòtè wafer yo anjeneral 17 pous an dyamèt epi yo ka kenbe jiska 40 2-4 pous wafers.