SiO2 fim mens oksid tèmik Silisyòm waf 4 pous 6 pous 8 pous 12 pous

Pwosesis prensipal fabrikasyon waf silikon oksidize yo anjeneral gen ladan etap sa yo: kwasans silikon monokristalin, koupe an waf, polisaj, netwayaj ak oksidasyon.

Kwasans Silisyòm monokristalin: Premyèman, yo fè Silisyòm monokristalin grandi nan tanperati ki wo avèk metòd tankou metòd Czochralski a oswa metòd Float-zone lan. Metòd sa a pèmèt preparasyon monokristal Silisyòm ki gen yon pite ak yon entegrite rezo ki wo.

Koupe an ti moso: Silisyòm monokristalin ki grandi a anjeneral gen yon fòm silendrik epi li bezwen koupe an ti moso mens pou yo ka itilize kòm yon substra pou yon ti moso. Koupe a anjeneral fèt ak yon kouto dyaman.

Polisaj: Sifas waf la ka inegal epi li ka bezwen polisaj chimik-mekanik pou jwenn yon sifas lis.

Netwayaj: Yo netwaye waf poli a pou retire enpurte ak pousyè.

Oksidasyon: Finalman, yo mete tranch silikon yo nan yon founo tanperati ki wo pou tretman oksidasyon pou fòme yon kouch pwoteksyon diyoksid silikon pou amelyore pwopriyete elektrik li yo ak fòs mekanik li, epi tou pou sèvi kòm yon kouch izolan nan sikui entegre yo.

Prensipal itilizasyon tranche silikon okside yo enkli fabrikasyon sikui entegre, fabrikasyon selil solè, ak fabrikasyon lòt aparèy elektwonik. Raft oksid silikon yo lajman itilize nan domèn materyèl semi-kondiktè akòz ekselan pwopriyete mekanik yo, estabilite dimansyonèl ak chimik yo, kapasite pou opere nan tanperati ki wo ak presyon ki wo, osi byen ke bon pwopriyete izolasyon ak optik yo.

Avantaj li yo enkli yon estrikti kristal konplè, yon konpozisyon chimik pi, dimansyon presi, bon pwopriyete mekanik, elatriye. Karakteristik sa yo fè waf oksid Silisyòm yo patikilyèman apwopriye pou fabrike sikwi entegre pèfòmans segondè ak lòt aparèy mikwoelektwonik.