Sistèm Oryantasyon Wafer pou Mezi Oryantasyon Kristal
Entwodiksyon Ekipman
Enstriman oryantasyon wafer yo se aparèy presizyon ki baze sou prensip difraksyon reyon X (XRD), sitou itilize nan fabrikasyon semi-kondiktè, materyèl optik, seramik, ak lòt endistri materyèl cristalline.
Enstriman sa yo detèmine oryantasyon rezo kristal la epi gide pwosesis koupe oswa polisaj presi. Karakteristik prensipal yo enkli:
- Mezi ki gen gwo presizyon:Kapab rezoud plan kristalografik ak rezolisyon angilè ki rive jis 0.001°.
- Konpatibilite gwo echantiyon:Sipòte waf ki rive jiska 450 mm an dyamèt ak yon pwa 30 kg, apwopriye pou materyèl tankou carbure Silisyòm (SiC), safi, ak Silisyòm (Si).
- Konsepsyon modilè:Fonksyonalite ki ka elaji yo enkli analiz koub balanse, map defo sifas 3D, ak aparèy anpile pou pwosesis plizyè echantiyon.
Paramèt teknik kle yo
| Kategori Paramèt | Valè tipik/Konfigirasyon |
| Sous reyon X | Cu-Kα (tach fokal 0.4 × 1 mm), vòltaj akselerasyon 30 kV, kouran tib reglabl 0–5 mA |
| Ranje angilè | θ: -10° pou rive +50°; 2θ: -10° pou rive +100° |
| Presizyon | Rezolisyon ang enklinasyon: 0.001°, deteksyon domaj sifas: ±30 arcseconds (koub balanse) |
| Vitès eskanè | Eskanè Omega a konplete oryantasyon rezo konplè a nan 5 segonn; eskanè Theta a pran ~1 minit. |
| Etap echantiyon an | V-groove, aspirasyon pneumatik, wotasyon milti-ang, konpatib ak waflè 2-8 pous |
| Fonksyon Ekspansib | Analiz koub balanse, map 3D, aparèy anpile, deteksyon domaj optik (retire, GB) |
Prensip Travay la
1. Fondasyon Difraksyon Reyon X
- Reyon X yo kominike avèk nwayo atomik yo ak elektwon yo nan rezo kristal la, sa ki jenere modèl difraksyon. Lwa Bragg la (nλ = 2d sinθ) gouvène relasyon ki genyen ant ang difraksyon yo (θ) ak espasman rezo a (d).
Detektè yo kaptire modèl sa yo, ke yo analize pou rekonstwi estrikti kristalografik la.
2. Teknoloji Eskane Omega
- Kristal la ap vire kontinyèlman otou yon aks fiks pandan reyon X yo eklere li.
- Detektè yo kolekte siyal difraksyon atravè plizyè plan kristalografik, sa ki pèmèt detèminasyon oryantasyon konplè rezo a nan 5 segonn.
3. Analiz Koub Balanse
- Ang kristal fiks ak varyab ang ensidans reyon X pou mezire lajè pik (FWHM), evalye domaj rezo ak souch.
4. Kontwòl Otomatik
- Entèfas PLC ak ekran tactile yo pèmèt ang koupe predetèmine, fidbak an tan reyèl, ak entegrasyon ak machin koupe pou kontwòl an bouk fèmen.
Avantaj ak Karakteristik
1. Presizyon ak Efikasite
- Presizyon angilè ±0.001°, rezolisyon deteksyon domaj <30 segonn ark.
- Vitès eskanè Omega a 200 fwa pi rapid pase eskanè Theta tradisyonèl yo.
2. Modularite ak Eskalabilite
- Elaji pou aplikasyon espesyalize (pa egzanp, waf SiC, lam turbin).
- Entegre ak sistèm MES pou siveyans pwodiksyon an tan reyèl.
3. Konpatibilite ak Estabilite
- Akomode echantiyon ki gen fòm iregilyè (pa egzanp, lengote safi fann).
- Konsepsyon refwadisman ak lè a diminye bezwen antretyen yo.
4. Operasyon Entelijan
- Kalibrasyon yon sèl klike ak pwosesis milti-tach.
- Oto-kalibrasyon ak kristal referans pou minimize erè imen.
Aplikasyon yo
1. Fabrikasyon semi-kondiktè
- Oryantasyon koupe wafer: Detèmine oryantasyon wafer Si, SiC, GaN pou optimize efikasite koupe.
- Map defo: Idantifye reyur oswa dislokasyon sifas pou amelyore rannman chip la.
2. Materyèl Optik
- Kristal non lineyè (pa egzanp, LBO, BBO) pou aparèy lazè.
- Make sifas referans sou plak safi pou substrats LED.
3. Seramik ak Konpozit
- Analize oryantasyon grenn nan Si3N4 ak ZrO2 pou aplikasyon nan tanperati ki wo.
4. Rechèch ak Kontwòl Kalite
- Inivèsite/laboratwa pou devlopman nouvo materyèl (pa egzanp, alyaj ki gen anpil entropi).
- QC Endistriyèl pou asire konsistans pakèt.
Sèvis XKH yo
XKH ofri sipò teknik konplè pandan tout sik lavi enstriman oryantasyon wafer yo, ki gen ladan enstalasyon, optimize paramèt pwosesis, analiz koub balanse, ak map defo sifas 3D. Solisyon pèsonalize (pa egzanp, teknoloji anpile lengote) yo bay pou amelyore efikasite pwodiksyon semikondiktè ak materyèl optik pa plis pase 30%. Yon ekip dedye fè fòmasyon sou plas, pandan y ap sipò a distans 24/7 ak ranplasman rapid pyès rezèv asire fyab ekipman yo.
